Presentazione

Organizzazione della Didattica

DM270
SCIENZA DEI MATERIALI


6

Corsi comuni

 

Frontali Esercizi Laboratorio Studio Individuale
ORE: 24 0 36 86

Periodo

AnnoPeriodo
I anno1 semestre

Frequenza

Obbligatoria

Erogazione

Convenzionale

Lingua

Italiano

Calendario Attività Didattiche

InizioFine
02/10/201719/01/2018

Tipologia

TipologiaAmbitoSSDCFU
affine/integrativo Nessun ambitoFIS/036


Responsabile Insegnamento

ResponsabileSSDStruttura
N.D.

Altri Docenti

Non previsti.

Attività di Supporto alla Didattica

Non previste.

Bollettino

Fisica I e Fisica II

Al termine del corso gli studenti conosceranno le basi della produzione e la misura del Vuoto e saranno in grado di identificare i componenti di un sistema da vuoto reale e di utilizzarlo in prima persona. Acquisiranno inoltre conoscenze nel campo della deposizione dei film sottili sperimentandole attraverso le attività in laboratorio.

Lezioni frontali ed esercitazioni in laboratorio

Flusso di Gas attaverso canalizzazioni: Regimi di flusso Conduttanza ed impedenza; Flusso di gas in stato viscoso; Flusso di gas in regime molecolare; Conduttanza di una piccola apertura; Conduttanza di tubi corti, lunghi e a gomito; Materiali per il vuoto: Desorbimento Permeabilita', Solubilita', diffusione e degasamento; Il baking di un sistema da vuoto; Saldature e brasature da vuoto; Materiali e componenti del vuoto; Passanti elettrici, rotatori e traslatori; Produzione del vuoto: Pompe rotative, Zeoliti e trappole; Pompe a pistone, Pompe a membrana, Pompe Trocoidali, Pompe scroll, Pompe roots, Pompe Claw, Pompe turbomolecolari, Fompe a diffusione, Pompe criogeniche; Dimensionamento di una camera da vuoto in basso vuoto e in UHV; Elementi di Progettazione; Le regole auree e gli errori da non fare; Misura del vuoto: Vacuometri Pirani, Vacuometri a Termocoppia, Vacuometri capacitivi, Vacuometri penning, Vacuometri a ionizzazione, Vacuometri Bayard Alpert, Analizzatori quadrupolari di massa, Ricerca di fughe reali e virtuali, Fondamenti di Elettrotecnica, La rete trifase, Il monofase, Collegamenti circuitali, Automatismi a Relais ed applicazione ai sistemi da vuoto, Funzionamento di motori ed applicazioni nel PVD, Deposizione di films sottili: Fondamenti dello sputtering, Sputtering in regime DC, RF, Biased Deposizione per arco Catodico. Film per elettroplating, Pulizia dei substrati, L’elettropulitura dei substrati, Confinamento magnetico di plasmi: Progettazione e costruzione di sorgenti di deposizione. Progettazione di impianti da ultra alto vuoto per la deposizione PVD di films sottili; Esercitazione di laboratorio circa le problematiche sperimentali della produzione del vuoto.

orale

La valutazione della preparazione dello studente si baserà sulla comprensione degli argomenti svolti, sull'acquisizione dei concetti e delle metodologie proposte e sulla capacità di applicarli in modo autonomo.

CONTENUTO NON PRESENTE